二阶段式化学气相沉积成长铜薄膜及其反应机理研究
基本信息
批准号：20176048
项目类别：面上项目
资助金额：18.00
负责人：王琦
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：潘凤鸣,邓东顺,许波,肖茜
关键词：
气固反应机理铜膜成长化学气相沉积
结项摘要
属.于.超.大.规.模.集.成.电.路.后.段.制.程.的.铜.金.属.化.是.现.今.及.未.来.集.?电.路.制.造.中.的.主.导.性.技.术.，.新.一.代.铜.制.程.的.核.心.技.术.即.在.于.全.部.以.化.学.气.相.沉.积.的.方.式.成.长.扩.散.阻.障.层.、.铜.种.晶.层.及.铜.金.属.膜.。.本.项.目.针.对.新.世.代.铜.制.程.中.的.铜.膜.成.长.技.术.，.研.究.氮.化.钽.／.硅.基.材.上.二.阶.段.化.学.气.相.沉.积.铜.膜.成.长.、.最.佳.沉.积.?应.条.件.、.铜.核.形.成.过.程.及.铜.膜.成.长.机.制.，.探.讨.其.沉.积.反.应.机.理.。.
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
EBPR工艺运行效果的主要影响因素及研究现状
EBPR工艺运行效果的主要影响因素及研究现状
DOI：10.16796/j.cnki.1000-3770.2022.03.003
发表时间：2022
2
妊娠对雌性大鼠冷防御性肩胛间区棕色脂肪组织产热的影响及其机制
妊娠对雌性大鼠冷防御性肩胛间区棕色脂肪组织产热的影响及其机制
DOI：
发表时间：
3
多能耦合三相不平衡主动配电网与输电网交互随机模糊潮流方法
多能耦合三相不平衡主动配电网与输电网交互随机模糊潮流方法
DOI：10.13334/j.0258-8013.pcsee.190276
发表时间：2020
4
中温固体氧化物燃料电池复合阴极材料LaBiMn_2O_6-Sm_(0.2)Ce_(0.8)O_(1.9)的制备与电化学性质
中温固体氧化物燃料电池复合阴极材料LaBiMn_2O_6-Sm_(0.2)Ce_(0.8)O_(1.9)的制备与电化学性质
DOI：10.11862/CJIC.2019.081
发表时间：2019
5
猪链球菌生物被膜形成的耐药机制
猪链球菌生物被膜形成的耐药机制
DOI：10.13343/j.cnki.wsxb.20200479
发表时间：2021
王琦的其他基金
批准号：51707032
批准年份：2017
资助金额：22.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：81473554
批准年份：2014
资助金额：70.00
项目类别：面上项目
批准号：61205156
批准年份：2012
资助金额：28.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31500300
批准年份：2015
资助金额：20.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：20976150
批准年份：2009
资助金额：33.00
项目类别：面上项目
批准号：21341001
批准年份：2013
资助金额：10.00
项目类别：专项基金项目
批准号：51106145
批准年份：2011
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：30871665
批准年份：2008
资助金额：34.00
项目类别：面上项目
批准号：21673206
批准年份：2016
资助金额：65.00
项目类别：面上项目
批准号：19175056
批准年份：1991
资助金额：2.00
项目类别：面上项目
批准号：31070012
批准年份：2010
资助金额：35.00
项目类别：面上项目
批准号：61402330
批准年份：2014
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51602017
批准年份：2016
资助金额：22.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：30670015
批准年份：2006
资助金额：30.00
项目类别：面上项目
批准号：61474008
批准年份：2014
资助金额：80.00
项目类别：面上项目
批准号：81302003
批准年份：2013
资助金额：23.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：41461062
批准年份：2014
资助金额：51.00
项目类别：地区科学基金项目
批准号：81702542
批准年份：2017
资助金额：20.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51502159
批准年份：2015
资助金额：21.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：61872269
批准年份：2018
资助金额：63.00
项目类别：面上项目
批准号：51701190
批准年份：2017
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31770011
批准年份：2017
资助金额：60.00
项目类别：面上项目
批准号：61404064
批准年份：2014
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：11601220
批准年份：2016
资助金额：18.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：81473659
批准年份：2014
资助金额：75.00
项目类别：面上项目
批准号：10175083
批准年份：2001
资助金额：23.00
项目类别：面上项目
批准号：10747140
批准年份：2007
资助金额：2.00
项目类别：专项基金项目
批准号：21273200
批准年份：2012
资助金额：76.00
项目类别：面上项目
批准号：61672015
批准年份：2016
资助金额：50.00
项目类别：面上项目
批准号：41704103
批准年份：2017
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：38870929
批准年份：1988
资助金额：3.00
项目类别：面上项目
批准号：U1732136
批准年份：2017
资助金额：56.00
项目类别：联合基金项目
批准号：61203206
批准年份：2012
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：61773316
批准年份：2017
资助金额：64.00
项目类别：面上项目
批准号：31370065
批准年份：2013
资助金额：78.00
项目类别：面上项目
批准号：81560781
批准年份：2015
资助金额：35.00
项目类别：地区科学基金项目
批准号：51674154
批准年份：2016
资助金额：61.00
项目类别：面上项目
批准号：61401144
批准年份：2014
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：61379094
批准年份：2013
资助金额：76.00
项目类别：面上项目
批准号：10475101
批准年份：2004
资助金额：36.00
项目类别：面上项目
批准号：10675149
批准年份：2006
资助金额：26.00
项目类别：面上项目
批准号：81500439
批准年份：2015
资助金额：18.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：11201084
批准年份：2012
资助金额：22.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：30270008
批准年份：2002
资助金额：20.00
项目类别：面上项目
批准号：31371977
批准年份：2013
资助金额：78.00
项目类别：面上项目
批准号：71372194
批准年份：2013
资助金额：50.00
项目类别：面上项目
批准号：61105012
批准年份：2011
资助金额：22.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：20576112
批准年份：2005
资助金额：26.00
项目类别：面上项目
批准号：90709050
批准年份：2007
资助金额：40.00
项目类别：重大研究计划
批准号：51304125
批准年份：2013
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：71603022
批准年份：2016
资助金额：16.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31171893
批准年份：2011
资助金额：64.00
项目类别：面上项目
批准号：81902794
批准年份：2019
资助金额：20.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：81273611
批准年份：2012
资助金额：75.00
项目类别：面上项目
批准号：10805028
批准年份：2008
资助金额：18.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：41877514
批准年份：2018
资助金额：61.00
项目类别：面上项目
批准号：41161090
批准年份：2011
资助金额：43.00
项目类别：地区科学基金项目
批准号：30271563
批准年份：2002
资助金额：20.00
项目类别：面上项目
批准号：41501550
批准年份：2015
资助金额：23.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31702031
批准年份：2017
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：61874051
批准年份：2018
资助金额：64.00
项目类别：面上项目
批准号：81030064
批准年份：2010
资助金额：220.00
项目类别：重点项目
批准号：41661059
批准年份：2016
资助金额：40.00
项目类别：地区科学基金项目
批准号：30640044
批准年份：2006
资助金额：10.00
项目类别：专项基金项目
批准号：51874188
批准年份：2018
资助金额：60.00
项目类别：面上项目
批准号：31301446
批准年份：2013
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：41140015
批准年份：2011
资助金额：20.00
项目类别：专项基金项目
批准号：81730112
批准年份：2017
资助金额：290.00
项目类别：重点项目
相似国自然基金
1
化学气相沉积制备石墨烯薄膜及其器件的生物传感性能
批准号：61076067
批准年份：2010
负责人：董晓臣
学科分类：F0404
资助金额：42.00
项目类别：面上项目
2
电化学气相沉积机理的研究
批准号：59202019
批准年份：1992
负责人：魏秋明
学科分类：E0207
资助金额：5.50
项目类别：青年科学基金项目
3
化学气相沉积纳米金刚石薄膜中氮氢缺陷研究
批准号：51102027
批准年份：2011
负责人：唐春玖
学科分类：E0203
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
4
常压化学气相沉积Ti基透明导电氧化物薄膜及其光电性能研究
批准号：51172200
批准年份：2011
负责人：宋晨路
学科分类：E0201
资助金额：59.00
项目类别：面上项目