二阶段式化学气相沉积成长铜薄膜及其反应机理研究
基本信息
批准号：20176048
项目类别：面上项目
资助金额：18.00
负责人：王琦
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：潘凤鸣,邓东顺,许波,肖茜
关键词：
气固反应机理铜膜成长化学气相沉积
结项摘要
属.于.超.大.规.模.集.成.电.路.后.段.制.程.的.铜.金.属.化.是.现.今.及.未.来.集.?电.路.制.造.中.的.主.导.性.技.术.，.新.一.代.铜.制.程.的.核.心.技.术.即.在.于.全.部.以.化.学.气.相.沉.积.的.方.式.成.长.扩.散.阻.障.层.、.铜.种.晶.层.及.铜.金.属.膜.。.本.项.目.针.对.新.世.代.铜.制.程.中.的.铜.膜.成.长.技.术.，.研.究.氮.化.钽.／.硅.基.材.上.二.阶.段.化.学.气.相.沉.积.铜.膜.成.长.、.最.佳.沉.积.?应.条.件.、.铜.核.形.成.过.程.及.铜.膜.成.长.机.制.，.探.讨.其.沉.积.反.应.机.理.。.
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
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数据更新时间：2023-05-31
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