高灵敏度多层纳米膜遂穿微陀螺仪研究
基本信息
批准号：50675212
项目类别：面上项目
资助金额：35.00
负责人：刘俊
学科分类：
依托单位：中北大学
批准年份：2006
结题年份：2009
起止时间：2007-01-01 - 2009-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：张斌珍,郭涛,石云波,祁晓瑾,王昊宇,王玲,杨林森,马宗敏
关键词：
共振遂穿压阻效应非搀杂双势垒薄膜材料遂穿陀螺仪
结项摘要
本项目拟采用双势垒（或多势垒）结构多层纳米薄膜作为压敏材料，通过对不同势垒结构薄膜共振遂穿效应的研究，得到共振隧穿薄膜I－V曲线中电流峰谷比最大者作为压敏结构（该结构在相同应力的作用下灵敏度最大）；研究以外延薄膜生长技术与腐蚀、刻蚀结构加工技术相结合的工艺加工方法，实现MEMS工艺与纳米多层薄膜的工艺结合；通过对共振遂穿效应微陀螺仪的结构设计、仿真与加工，突破多层纳米薄膜共振遂穿压敏电阻的生长技术
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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