e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构高灵敏传感器基础研究

：本项目拟开展e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构高灵敏传感器研究。e指数半导体器件的I-V 特性呈e 指数关系，这一特性使得e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构对外加力学量的变化有极其灵敏的响应，因此应用这类微纳机械结构可以极大提高传感器的探测灵敏度。本项目将主要研究微纳机械结构形变与e 指数半导体器件载流子输运耦合机理、基于片内集成微光栅的e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构力电特性测试方法、e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构加工技术、基于e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构的传感器等。通过研究，将取得多方面创新成果，包括提出并实现新的高灵敏检测方法，揭示力电耦合机理，建立e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构与载流子输运耦合模型，开发出适当工艺方法，实现高灵敏加速度计、表面结合应力生化传感器等。本项目的研究对于发展新型高灵敏传感器具有重要意义。