纳米间隙硅电极实现分子共振遂穿二极管

Due to the unique features of molecules such as small size and self assembling, the molecule based devices, especially those devices compatible with micro-fabrication technology for semiconductor industry, will play more and more important role in the future information society. Molecule resonant tunneling diode (MRDT) is a key important molecule based devices. However, the MRDT related research is only limited to the approach employing scanning probe microscopy (SPM). Here, we put forward a new approach for MRDT using the forbidden band of bulk Silicon. 1) In technical aspect, the silicon based micro-fabrication technique combined with mechanically controllable break junction technique was employed. By this approach, pair silicon electrodes can be fabricated, in which the gap size between the two electrodes can be adjusted with sub-angstrom accuracy. Subsequently, a single molecular junction can be obtained. 2) In Method aspect, when the electron pass through the Si-Molecule-Si molecular junction, the molecule orbital can align with the conduct band or valance band of the silicon at certain bias voltage, which will result electron resonant tunneling through the molecular junction. This new mechanism fulfills the demand of commercial product for silicon based industry. This project will build a novel platform for the design and fabrication of single molecular devices.

由于分子具有体积小、自组装等优点，以分子为主体构建的分子器件，尤其是与硅基半导体微加工技术相兼容的分子器件，将在高度信息化社会里发挥越来越重要的作用。分子共振遂穿二极管是其中一种非常关键的分子器件。但是目前对分子共振遂穿的研究仅局限于实验室里扫描探针显微镜法。这里我们提出一种新的实现分子共振遂穿二极管的方法：1) 在技术上，结合硅微加工技术与机械可控裂结技术，获得在皮米级精度上调控间隙的纳米硅电极对，从而实现硅电极桥接的单分子结(硅-分子-硅)。2) 在原理上，获得硅电极桥接的单分子结后，利用硅材料电极具有禁带能级结构的特点，施加一定的偏置电压使得分子轨道能级与硅导带能级达到一致，使得电子通过共振遂穿效应通过分子结，实现分子共振遂穿二极管。这种新的共振遂穿方法符合硅基工业化批量生产的要求。此项目的实施将为单分子水平上的分子器件研制提供一个新的平台。

当前固体半导体集成电路的发展遇到了许多难题和挑战。目前集成电路的线宽已经降到大约10 nm。 虽然集成电路的线宽还有可能进一步降低, 但随着集成电路的微型化逐渐接近极限，其发展面临瓶颈。 这些挑战既有原理性的物理限制，又有技术性的工艺限制。而分子器件由于其尺寸小、可自组装、可批量生产有望突破传统半导体器件所面临的瓶颈。这里我们提出一种新的实现分子共振遂穿二极管的方法：1) 在技术上，结合硅微加工技术与机械可控裂结技术，我们实现了在皮米级精度上调控间隙的纳 米硅电极对，从而实现硅电极桥接的单分子结(硅-分子-硅)。2) 在工作原理上，获得硅电极桥接的单分子结后，利用硅材料电极具有禁带能级结构的特点，施加一定的偏置电压使分子轨道能级与硅导带能级达到一致，使得电子通过共振遂穿效应通过分子结，实现分子共振遂穿二极管。这种新的共振遂穿方法符合硅基工业化批量生产的要求。此项目的成功实施可为单分子水平上的分子器件研制提供一个新的平台。