纳米电子束曝光的散射参数模型研究

通过曝光实验测量纳米电子束曝光中不同衬底材料和抗蚀剂的电子散射参数。对实验数据进行数学拟合，建立计算电子散射参数的数学模型。将该模型的邻近效应校正软件相结合，直接应用于纳米级电子束曝光实验中，提高其分辨率。并为今后设计具有自主知识产权的邻近效应校正软件建立技术基础。对提高我国纳米级微细加工技术具有重大而深远的意义。