半导体照明(LED)作为新一代环保、节能照明技术,是21世纪战略高技术产业。高亮度大功率照明LED微纳器件的结构优化和微制造是其中关键核心技术。倒装结构与热超声倒装键合制程是照明级LED散热、光通量提高的最佳解决方案。目前,由于对倒装微结构、键合机理、多工艺参数匹配规律,器件可靠性等缺乏深层次理论研究,制约了LED向更高亮度、更大功率发展。本项目拟开展LED倒装结构优化、微结构键合强度、键合界面结
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数据更新时间:2023-05-31
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