理想的、超精密复合位移传感器新技术研究

首次提出精密的石英晶体谐振测量位移、力和重量和理论和方法，建立了特有的石英谐振式位移、力和称重传感器的实验系统，在此基础上开出发产品样机，该系统和样机经测定其传感或测量精度达万之一。该传感器稳定性和线性匀优，并有高精度，是十分理想的超精密传感器。本课题还首先提出石英晶体振和压电陶瓷构成和超精密复合位移传感器。它既保留了压电陶瓷的大位移、强驱动能力等特点，又具有石英晶振的超高精度、稳定性和线性。本课题属首创，成功应用多传感熔合技术，消除单位移传感器非理想特性，位移的精度和稳定性都提高了若干数量级。可广泛应用于超精、微细加及纳米测试等许多高技术领域。石英谐振式力传感器将由技术监督局计量鉴定并推广。