微机电系统中磨擦表面微观形貌设计与修饰研究

针对微机电系统对微磨擦性能的要求,采用高能密度束(准分子激光,精化电火花)方法对微构件常用材料表面进行微细加工；研究表面微观形貌特征参量及其与微磨擦性能的相关关系统；揭示形貌对微摩擦的作用机理。在此基础上，提出获得低磨擦的表面形貌优化设计方法和修饰技术，以及提高微磨擦稳定性的表面形貌参量设计，以提供微机械设计之用。