离子束增强沉积氧化钒敏感膜非致冷红外成象阵列研究
基本信息
批准号：60277019
项目类别：面上项目
资助金额：25.00
负责人：李金华
学科分类：
依托单位：常州大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：袁宁一,蒋美萍,李格,李坤
关键词：
室温红外线成象氧化钒薄膜离子束增强沉积
结项摘要
用离子束增强沉积制备高TCR的氧化钒薄膜，用疏松氧化硅和聚酰亚胺作牺牲层制备微桥结构，先作热导和探测率的理论模拟，再用BiCOMOS工艺，设计和研制读出电路，探索研制大规模非制冷焦平面红外成像阵列结构和工艺设计和可行性，掌握较成熟的实用生产工艺制备16×16三维集成微桥式非制冷焦平面阵列样品，探测率达1×10（8）cmHz（1/2）W（-1）。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
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数据更新时间：2023-05-31
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