离子束增强沉积氧化钒敏感膜非致冷红外成象阵列研究
基本信息
批准号：60277019
项目类别：面上项目
资助金额：25.00
负责人：李金华
学科分类：
依托单位：常州大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：袁宁一,蒋美萍,李格,李坤
关键词：
室温红外线成象氧化钒薄膜离子束增强沉积
结项摘要
用离子束增强沉积制备高TCR的氧化钒薄膜，用疏松氧化硅和聚酰亚胺作牺牲层制备微桥结构，先作热导和探测率的理论模拟，再用BiCOMOS工艺，设计和研制读出电路，探索研制大规模非制冷焦平面红外成像阵列结构和工艺设计和可行性，掌握较成熟的实用生产工艺制备16×16三维集成微桥式非制冷焦平面阵列样品，探测率达1×10（8）cmHz（1/2）W（-1）。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
肥胖型少弱精子症的发病机制及中医调体防治
肥胖型少弱精子症的发病机制及中医调体防治
DOI：10.16368/j.issn.1674-8999.2018.12.569
发表时间：2018
2
中温固体氧化物燃料电池复合阴极材料LaBiMn_2O_6-Sm_(0.2)Ce_(0.8)O_(1.9)的制备与电化学性质
中温固体氧化物燃料电池复合阴极材料LaBiMn_2O_6-Sm_(0.2)Ce_(0.8)O_(1.9)的制备与电化学性质
DOI：10.11862/CJIC.2019.081
发表时间：2019
3
神经退行性疾病发病机制的研究进展
神经退行性疾病发病机制的研究进展
DOI：
发表时间：2018
4
施用生物刺激剂对空心菜种植增效减排效应研究
施用生物刺激剂对空心菜种植增效减排效应研究
DOI：10.11654/jaes.2022-0087
发表时间：2022
5
脉冲直流溅射Zr薄膜的微结构和应力研究
脉冲直流溅射Zr薄膜的微结构和应力研究
DOI：10.3788/AOS202141.1831001
发表时间：2021
李金华的其他基金
批准号：41004024
批准年份：2010
资助金额：21.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31301779
批准年份：2013
资助金额：23.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：70941017
批准年份：2009
资助金额：9.70
项目类别：专项基金项目
批准号：31872123
批准年份：2018
资助金额：60.00
项目类别：面上项目
批准号：61006065
批准年份：2010
资助金额：21.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：41374004
批准年份：2013
资助金额：100.00
项目类别：面上项目
批准号：39700020
批准年份：1997
资助金额：13.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：10647105
批准年份：2006
资助金额：2.00
项目类别：专项基金项目
批准号：10675055
批准年份：2006
资助金额：30.00
项目类别：面上项目
批准号：51203045
批准年份：2012
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：11574075
批准年份：2015
资助金额：73.00
项目类别：面上项目
批准号：51502233
批准年份：2015
资助金额：21.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：71273276
批准年份：2012
资助金额：58.00
项目类别：面上项目
批准号：71673296
批准年份：2016
资助金额：50.00
项目类别：面上项目
批准号：10175027
批准年份：2001
资助金额：20.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
离子束增强沉积二氧化钒薄膜的相变低温延展及红外应用研究
批准号：10675055
批准年份：2006
负责人：李金华
学科分类：A3003
资助金额：30.00
项目类别：面上项目
2
非致冷二氧化钒红外传感器的新运行模式
批准号：60477040
批准年份：2004
负责人：李毅
学科分类：F0504
资助金额：24.00
项目类别：面上项目
3
非致冷复合热释电薄膜红外焦平面阵列研究
批准号：60377035
批准年份：2003
负责人：吴小清
学科分类：F0504
资助金额：24.00
项目类别：面上项目
4
非致冷红外焦平面阵列新型不均匀性校正读出电路研究
批准号：60377036
批准年份：2003
负责人：袁祥辉
学科分类：F0504
资助金额：8.00
项目类别：面上项目