通过对类金刚石膜(DLC)sp2、sp3 C微结构分析,阐明DLC膜不同环境中表面摩擦物理和摩擦化学作用机制,设计由硬亚层和软亚层交替构成的纳米多层DLC膜。研究沉积工艺参数、不同注入元素(N、Ar、F等),亚层厚度等对膜层结构和机械性能的影响,获得低内应力、高硬度纳米多层DLC膜;研究纳米多层DLC膜在各种摩擦环境(O2, N2, 真空、干燥空气和高湿度大气)下的摩擦磨损行为,阐明纳米多层DLC
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数据更新时间:2023-05-31
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