AlN薄膜的取向生长机制及其SAW特性研究
基本信息
批准号：10104004
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：20.00
负责人：王波
学科分类：
依托单位：北京工业大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：宋雪梅,邹云娟,张兴旺,谭利文,张永才,张德学,李建超
关键词：
取向生长SAW特性AlN薄膜
结项摘要
AlN薄膜因其性能的各向异性，对择优取向生长AlN薄膜的制备及其性能和相关应用的研究都尤为重要。本项目着重研究AlN薄膜取向生长的机制，完善c轴平行取向生长的制备技术，并探索不同择优取向以及晶粒在纳米尺度下对薄膜各种性能特别是SAW特性的影响。同时可以狝lN纳米薄膜在高性能器件上的应用提供重要的实验数据。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
基于一维TiO2纳米管阵列薄膜的β伏特效应研究
基于一维TiO2纳米管阵列薄膜的β伏特效应研究
DOI：10.7498/aps.67.20171903
发表时间：2018
2
固溶时效深冷复合处理对ZCuAl_(10)Fe_3Mn_2合金微观组织和热疲劳性能的影响
固溶时效深冷复合处理对ZCuAl_(10)Fe_3Mn_2合金微观组织和热疲劳性能的影响
DOI：10.11868/j.issn.1001-4381.2018.001042
发表时间：2019
3
简化的滤波器查找表与神经网络联合预失真方法
简化的滤波器查找表与神经网络联合预失真方法
DOI：
发表时间：2015
4
压电驱动微型精密夹持机构设计与实验研究
压电驱动微型精密夹持机构设计与实验研究
DOI：10.3969/j.issn.1004-132x.2022.11.006
发表时间：2022
5
面向园区能源互联网的多元负荷特性及其调控潜力研究现状与展望
面向园区能源互联网的多元负荷特性及其调控潜力研究现状与展望
DOI：
发表时间：2021
王波的其他基金
批准号：30873465
批准年份：2008
资助金额：30.00
项目类别：面上项目
批准号：19102011
批准年份：1991
资助金额：3.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：U1936117
批准年份：2019
资助金额：70.00
项目类别：联合基金项目
批准号：50273028
批准年份：2002
资助金额：23.00
项目类别：面上项目
批准号：51404105
批准年份：2014
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：81070516
批准年份：2010
资助金额：32.00
项目类别：面上项目
批准号：61201097
批准年份：2012
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：10875089
批准年份：2008
资助金额：39.00
项目类别：面上项目
批准号：61771217
批准年份：2017
资助金额：61.00
项目类别：面上项目
批准号：11405200
批准年份：2014
资助金额：28.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：11902320
批准年份：2019
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51142012
批准年份：2011
资助金额：10.00
项目类别：专项基金项目
批准号：31902183
批准年份：2019
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51209155
批准年份：2012
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：11202136
批准年份：2012
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31570418
批准年份：2015
资助金额：63.00
项目类别：面上项目
批准号：51302208
批准年份：2013
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51875306
批准年份：2018
资助金额：60.00
项目类别：面上项目
批准号：30701079
批准年份：2007
资助金额：18.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51477121
批准年份：2014
资助金额：76.00
项目类别：面上项目
批准号：11575131
批准年份：2015
资助金额：73.00
项目类别：面上项目
批准号：51872223
批准年份：2018
资助金额：60.00
项目类别：面上项目
批准号：50775055
批准年份：2007
资助金额：32.00
项目类别：面上项目
批准号：31170556
批准年份：2011
资助金额：58.00
项目类别：面上项目
批准号：31900253
批准年份：2019
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：81501517
批准年份：2015
资助金额：18.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31770463
批准年份：2017
资助金额：59.00
项目类别：面上项目
批准号：61502076
批准年份：2015
资助金额：20.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：38800027
批准年份：1988
资助金额：6.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51879179
批准年份：2018
资助金额：61.00
项目类别：面上项目
批准号：51777142
批准年份：2017
资助金额：57.00
项目类别：面上项目
批准号：61306133
批准年份：2013
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：61501215
批准年份：2015
资助金额：21.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：20374038
批准年份：2003
资助金额：23.00
项目类别：面上项目
批准号：21902061
批准年份：2019
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：81070535
批准年份：2010
资助金额：32.00
项目类别：面上项目
批准号：51603190
批准年份：2016
资助金额：20.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51108264
批准年份：2011
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51207113
批准年份：2012
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51175123
批准年份：2011
资助金额：60.00
项目类别：面上项目
批准号：81501806
批准年份：2015
资助金额：18.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31901069
批准年份：2019
资助金额：23.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51571003
批准年份：2015
资助金额：62.00
项目类别：面上项目
批准号：40805020
批准年份：2008
资助金额：20.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：30771503
批准年份：2007
资助金额：28.00
项目类别：面上项目
批准号：51902226
批准年份：2019
资助金额：22.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31300318
批准年份：2013
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：11175134
批准年份：2011
资助金额：69.00
项目类别：面上项目
批准号：31760070
批准年份：2017
资助金额：38.00
项目类别：地区科学基金项目
批准号：51508143
批准年份：2015
资助金额：20.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：30800968
批准年份：2008
资助金额：20.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：41901191
批准年份：2019
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：81601847
批准年份：2016
资助金额：17.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：38671082
批准年份：1986
资助金额：1.50
项目类别：面上项目
批准号：51308006
批准年份：2013
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：81260310
批准年份：2012
资助金额：55.00
项目类别：地区科学基金项目
批准号：29674020
批准年份：1996
资助金额：9.50
项目类别：面上项目
批准号：31300230
批准年份：2013
资助金额：23.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：60901060
批准年份：2009
资助金额：22.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51104053
批准年份：2011
资助金额：26.00
项目类别：青年科学基金项目
相似国自然基金
1
AlN/金刚石新型层状复合结构上SAW高温敏感特性研究
批准号：11474203
批准年份：2014
负责人：韩韬
学科分类：A2303
资助金额：105.00
项目类别：面上项目
2
AlN压电薄膜晶粒取向与应力相关性研究
批准号：61101038
批准年份：2011
负责人：钟慧
学科分类：F0119
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
3
AlN纳米阵列的定位生长及其场发射特性的优化研究
批准号：61076049
批准年份：2010
负责人：胡明哲
学科分类：F0403
资助金额：39.00
项目类别：面上项目
4
磁场下酞菁薄膜的取向生长及其光电性能
批准号：50273033
批准年份：2002
负责人：季振国
学科分类：E0309
资助金额：8.00
项目类别：面上项目