C_3N_4是理论预期的超硬膜,可能比金刚石还硬。用离子注入和微波等离子体气相沉积合成了C_3N_4膜,其形貌为棒状晶态C_3N_4的堆积。用Se-risⅡ分别计算了α-C_3N_4和β-C_3N_4的X射线谱和强度,和实验谱校对,证明用MPCVD沉积在Si,Pt衬底上的膜是α-和β-C_3N_4的混合物。用EDX测得膜的总N/C比在1.0-2.0之间。用XPS测定、并用负电性准则甄别,确定C/S,N/S的结合能分别为286.2eV和399.5eV.在α-和β-C_3N_4中的N/C比符合C_3N_4和化合比1.33.Ra-man谱和红外吸收都支持在α-和β-C_3N_4中形成了C-N键。体积弹性模量达到349Gpa。中科院真空物理实验室学委认为取得的成果是重大突破。有重要科学意义和应用前景,如器件的表面防护,晶体发蓝光,做导弹热沉等等。
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数据更新时间:2023-05-31
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