均匀纳米孔低介电材料的可控制备研究

基本信息
批准号:90606011
项目类别:重大研究计划
资助金额:30.00
负责人:徐洪耀
学科分类:
依托单位:东华大学
批准年份:2006
结题年份:2009
起止时间:2007-01-01 - 2009-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:周艺峰,光善仪,聂王焰,汪新,吴振玉,方芳,苏新艳,杨本宏,张超
关键词:
nanoporousmaterialsdielectricPOSSmollowk
结项摘要

由相同结构POSS分子的自组装制备均匀纳米孔低介电材料,以实现材料中孔洞大小及均匀性的有效控制,将详细研究POSS分子相互作用与组装的行为;并通过改变POSS分子中R基团结构和POSS分子中R数目,实现孔洞大小和密度的有效控制。研究POSS的结构和组装方法,对材料介电性能以及POSS分子氧化裂解动力学影响,建立POSS分子结构-组装技术-介电性能关系的理论模型,为多孔低介电材料的应用奠定基础。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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