直热式低功耗MEMS气体传感器的研制

本项目在对珠状结构和热线型结构气敏元件的研究基础上，应用新兴的MEMS技术，采用体硅工艺和表面硅工艺，设计并制作可明显降低功耗的三维腔体结构的直热式气敏管芯。利用溶胶凝胶工艺制备气敏膜，使得掺杂更方便随意，并且采用表面修饰技术对气敏膜优化修饰。最终实现集气敏元件、加热元件和测温元件于一体的微型直热式低功耗气体传感器。