直热式低功耗MEMS气体传感器的研制
基本信息
批准号：60104006
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：20.00
负责人：张彤
学科分类：
依托单位：吉林大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：刘国范,任辉,阮圣平,杨广立,赵志勇
关键词：
气体传感器MEMS技术低功耗
结项摘要
本项目在对珠状结构和热线型结构气敏元件的研究基础上，应用新兴的MEMS技术，采用体硅工艺和表面硅工艺，设计并制作可明显降低功耗的三维腔体结构的直热式气敏管芯。利用溶胶凝胶工艺制备气敏膜，使得掺杂更方便随意，并且采用表面修饰技术对气敏膜优化修饰。最终实现集气敏元件、加热元件和测温元件于一体的微型直热式低功耗气体传感器。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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