辉光放电电解法合成立方氮化硼薄膜

辉光放电电解法可在液相、接近室温的条件下在电极之间发生辉光放电，在局部区域形成一个类似等离子体的极端环境。本课题拟研究该过程的机理，并采用该方法合成立方氮化硼薄膜。目标是获得高立方相含量的大面积氮化硼厚膜，提出该过程下立方氮化硼的成核，生长机理，并使该方法发展成为一种具有普遍适用性的新型功能材料的制备技术。