利用辉光介质阻挡放电沉积多种功能性薄膜
基本信息
批准号：10405005
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：24.00
负责人：刘东平
学科分类：
依托单位：大连民族大学
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：刘佳宏,刘艳红,孙炳全,李小松,牛金海
关键词：
aSi:H薄膜SiO2薄膜DLC薄膜辉光介质阻挡放电
结项摘要
利用介质阻挡放电沉积薄膜具有放电装置简单，能耗低，气体流量小，可在多种基底上大面积、高气压成膜等优势。自二十世纪九十年代以来，该方法已日益被众多的研究者所重视。我们在国际上首次利用低气压辉光介质阻挡放电在室温下多种基底上制备硬度高达20GPa的DLC薄膜。在此工作基础上优化薄膜沉积条件，系统研究各种放电参数（如电源频率、电压波形、电源电压、电极结构等）及气体组成对薄膜特性的影响，探索在短间隙大气压
项目摘要
项目成果
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暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
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