不等电位空心阴极效应法合成立方氮化硼薄膜的研究
基本信息
批准号：59481002
项目类别：专项基金项目
资助金额：8.00
负责人：潘俊德
学科分类：
依托单位：太原理工大学
批准年份：1994
结题年份：1997
起止时间：1995-01-01 - 1997-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：范本惠,贺琦,郑维能,李成明,韩晋宏
关键词：
立方氮化硼薄膜空心阴极效应
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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