高频脉冲提高类金刚石薄膜中SP3相含量及机理研究

基本信息
批准号:59882001
项目类别:专项基金项目
资助金额:13.00
负责人:汪浩
学科分类:
依托单位:北京理工大学
批准年份:1998
结题年份:2001
起止时间:1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:朱鹤孙,余挥,傅强,酒金婷,蔡锴
关键词:
类金刚石薄膜高频脉冲SP3相含量
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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