高速高精度的多机构贴片机设计理论研究

为提高我国微电子制造装备水平，本课题在自主开发的贴片机样机基础上，研究基于复合运动控制与多机构综合方法实现高速高精度运动的策略，并设计开放的控制平台；研究重要结构、工艺参数与系统性能之间的非线性关系；开发具有因特网功以的结构设计与仿真平台，为客户提供设计支持；开发贴片机关键部件、使其性能达到国际同类产品近期水平。