基于压电陶瓷执行器的纳米定位系统迟滞/蠕变补偿与非线性动力学研究

针对压电陶瓷执行器存在的迟滞、蠕变和静态非线性问题，本项目开展压电陶瓷执行器的神经网络建模与参数估计、非线性动力学与分叉控制、压电陶瓷执行器迟滞/蠕变补偿的神经网络自适应逆控制补偿方法研究。提出了非线性系统建模的小波/Hopfield神经网络方法，实现对压电陶瓷执行器的精确建模；同时采用动态递归神经网络实现迟滞/蠕变补偿的自适应逆控制；在DAHL模型的基础上开展迟滞非线性动力学研究，建立系统设计关键参数与系统振荡失稳之间的关系，通过Hopf分叉的状态反馈控制消除分叉失稳现象。开展基于压电陶瓷执行器的纳米定位系统迟滞/蠕变补偿与非线行动力学研究，建立针对压电陶瓷执行器驱动纳米定位系统的神经网络建模理论、迟滞非线性动力学与HOPF分叉控制以及迟滞/蠕变神经网络自适应逆控制补偿的理论体系，对于提高纳米定位系统精度、稳定性和可靠性具有重要理论研究价值和现实意义。