基于现象建模的压电陶瓷执行器纳米定位系统分叉分析与迟滞补偿

针对压电陶瓷执行器存在的迟滞非线性问题，本项目开展基于现象迟滞模型的压电陶瓷执行器驱动纳米定位系统的非线性动力学与迟滞补偿控制研究。深入研究了动态Backlash/Preisach建模方法，提高了对压电陶瓷执行器迟滞动态特性的表征能力；在BACKLASH神经网络模型基础上开展PID闭环控制纳米定位系统的自激振动、局部分叉和奇异性分析，建立定位系统关键设计参数与系统振荡失稳之间的关系；开展基于逆模型串级补偿的动态滑模控制研究，通过逆模型实现迟滞抵消，并通过动态滑模解决颤振问题。开展基于非参数化迟滞模型的压电陶瓷执行器驱动纳米定位系统分叉分析与迟滞补偿研究，建立针对压电陶瓷执行器驱动纳米定系统的现象迟滞建模方法、非线性动力学以及迟滞补偿控制理论，对于提高纳米定位系统精度、稳定性和可靠性具有重要理论研究价值和现实意义。