超精密磁悬浮工作台在大位移运动时,因空气间隙与电磁驱动力的强非线性特征往往导致工作台动子的运动失稳甚至失控现象,为解决这一问题,本课题针对一种可实现多维运动的磁悬浮工作台,研究平台动子的空间位置与电磁绕组的电流和电磁驱动力之间的关系,讨论多个电磁绕组的空间分布与驱动动子运动的电磁合力的非线性特征;进一步,建立平台的控制电流和运动学耦合的数学模型以及对磁悬浮工作台的非线性电磁学和动力学耦合的研究,导
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数据更新时间:2023-05-31
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