大承载超精密平台的分布式非线性耦合动力学建模与同步控制

针对超精密IC装备中的关键理论问题研究大承载工况下超精密平台的分布式非线性耦合动力学建模理论和高定位精度、高同步精度控制方法。针对粗动精动层叠式平台的结构特点，充分考虑驱动元件特性和空间离散分布特征，采用分布参数模型表征平台的动力学行为；综合考虑影响超精密运动定位精度的多种耦合效应，定量分析大承载、强耦合工况下的静、动态误差，结合模型参数辨识方法完善动力学模型；对非线性强烈，波动较大的耦合项采用前馈补偿和控制参数鲁棒自适应算法相结合，研究适合大惯量平台超精密运动的控制方法和理论；采用离散事件模型建模多个子系统之间并行、并发、同步行为，建立基于高精度定位控制算法时间消耗和实时性分析的系统设计方法，实现各子过程离散时间同步和各动力学过程参数的匹配调整。本研究可从根本上为超精密定位和协调控制提供理论依据，为我国自主超精密IC装备提供科学理论依据和技术创新源泉。