微机电系统膜基耦合结构光声性能无损表征基础研究

应用超快短脉冲激光技术研究微机电系统膜基础耦合结构微尺度界面波，建立界面波耗散方程，确立膜基础弹性参数和质密度与耗散特征量的数值关系；通过界面波耗散特性分析建立定量测定膜基弹性参数、粘附强度的方法；探索微纳耦合方式、尺度效应、粘附接触比对耗散特征量的作用规律，建立完整，开放的微机电系统膜基必能无损定量非接触测试系统。