纳机电微声传感器研究

本课题主要基于纳米结构的介观压阻效应，研究纳机电双层、多层膜、带、线式声传感器的设计、仿真和建模技术；研究灵敏度和动态范围可控制纳机电结构的设计、仿真和建模技术方法。纳机电声传感器设计和制造；研究纳机电声传感器件的灵敏度、动态特性、环境特性等参数的测试方法研究、实验验证等。微声测量是目前我国目前环境监测、分布式无人战斗单元及战场信息探测装备研制的急需关键器件，由本项目所研制的微声传感器具有检测范围宽、灵敏度和集成度高、低成本的优点，能为环境监测和战场信息探测装备的发展提供强有力的技术支撑。