超高真空CVD生长锗硅应变超晶格及光电特性研究
基本信息
批准号：69686002
项目类别：专项基金项目
资助金额：13.00
负责人：叶志镇
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：1996
结题年份：1999
起止时间：1997-01-01 - 1999-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：卢焕明,赵炳辉,吴惠桢,汪雷,姜小波,陈伟华,李剑光
关键词：
光电特性SiGe/Si应变超晶格超高真空CVD
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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