优质ZnO基多元合金制备及其p型掺杂研究

基本信息
批准号:90601003
项目类别:重大研究计划
资助金额:30.00
负责人:叶志镇
学科分类:
依托单位:浙江大学
批准年份:2006
结题年份:2007
起止时间:2007-01-01 - 2007-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:胡幸鸣,李先杭,张银珠,袁国栋,顾修全,马全宝
关键词:
p型掺杂多层量子阱结构ZnO基合金MOCVD技术
结项摘要

采用高频等离子N离化的MOCVD和PLD方法,制备高质量ZnO外延层及ZnMgO、ZnCdO多元合金晶体薄膜;研究并实现稳定的高浓度、高迁移率的p型ZnO、ZnMgO可控制备;研究ZnO中杂质与缺陷的行为、相互作用与控制规律;探索制备ZnMgO/ZnO多量子结构,为研制实用ZnO基发光二极管奠定基础。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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