基于微流控技术阵列光开关的研制

本课题目标是研制一种基于电控技术的微流控光开关阵列集成芯片。研究内容包括：微流控光开关阵列芯片的参数设计、制作工艺、集成测试、机理分析及初步应用。本项目的特色是将微流控技术与光通信技术相结合，制作高速响应特性的电控微流体光开关阵列集成芯片。创新之处在于：（1）将微流控技术应用于光通信领域,开辟了光无源器件研制的新方法；（2）新颖的微流控光开关阵列芯片的结构设计，包括特殊的开关控制和波导结构；（3）独特的微流控光开关阵列芯片集成技术，包括芯片制作和液体封装工艺。这种基于微流控电驱动光开关阵列芯片构思新颖，结构简单、易于加工，具有集成度高、开关速度较快、制作成本低等优点，将会在光分叉复用OADM、光交叉连接OXC、光交换机等全光通信网组件中得到广泛的应用。