微流控光学变焦透镜阵列集成芯片的研制

本课题目标是研制一种自主创新的微流控光学变焦透镜阵列集成芯片。研究内容包括：微流控光学变焦透镜阵列芯片的参数设计、制作工艺、特征表征、性能检测、机理分析及初步应用。本项目的特色是将微流控技术与光信息技术相结合，制作可调谐光学变焦透镜阵列集成芯片。创新之处在于：（1）实现微透镜阵列光学焦距的电控调节；（2）新颖的微流控透镜阵列芯片的结构设计，包括特殊的电极结构和双流道网络；（3）独特的微流控透镜阵列芯片集成技术，包括芯片制作和液体封装工艺。这种电调谐微流控变焦透镜阵列芯片结构简单、易于集成，具有变焦范围大、光能利用率高的优点，将会在微光学及光电信息领域得到广泛的应用。