微电子机械声传感器和传动器研究

微电子机械系统MEMS由于利用微电子集成工艺，能制作性能价格比高、体积小、重量轻等优点的元部件引起科技界高度和重视，成为当前最热门的研究课题之一，使集成化的微型超声器件的研制和发展有可能实现。本项目利用薄膜和悬臂结构实现超声传感和传动。结合激光超声实现微型无损检测新方法，发展新交叉学科分支。