微电子机械声传感器和传动器研究
基本信息
批准号：19974018
项目类别：面上项目
资助金额：20.00
负责人：张淑仪
学科分类：
依托单位：南京大学
批准年份：1999
结题年份：2002
起止时间：2000-01-01 - 2002-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吴宗森,郁炯,沈中华,李子全,程利平,徐明华,张飞飞,赵雁竹,水修基
关键词：
微电子机械器件声传感和传动
结项摘要
微电子机械系统MEMS由于利用微电子集成工艺，能制作性能价格比高、体积小、重量轻等优点的元部件引起科技界高度和重视，成为当前最热门的研究课题之一，使集成化的微型超声器件的研制和发展有可能实现。本项目利用薄膜和悬臂结构实现超声传感和传动。结合激光超声实现微型无损检测新方法，发展新交叉学科分支。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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