隧道声显微镜研究表面形貌及特征

本课题研究了隧道声显微成像（TAM）技术的几种成象模式和成像机理，首次给出了探针与样品相互作用的理论模型并导出了相互作用与隧道间距的函数关系并从实验上得到了验证，为声隧道成象系统提供了可靠的依据。在以改进的扫描隧道显微镜（STM）为基础建立的TAM成像系统的研制中，研究了几种新型压电换能器及声隧道显微镜所要求的电子学系统，使得该成象系统能够开展声成象研究其成象分辨率与原STM接近。利用该成象系统对硅表面、砷化钾以及表面声波器件进行了成象工作，得到了其表面的形貌图象也可获得包括样品表面和并表面特性的声信号分布。该成象系统尚有待改进，提高信噪比和成象质量。使之在研究金属非金属材料的形貌和物理性质中发挥出其巨大潜力。