多元复合阵列真空微电子压力传感器研究

本课题进行国际前沿性的真空微电子压力传感器应用基础研究工作，创新性地提出了“台阶阴极”和“阴极—敏感膜复合型”真空微电子压力传感器。对真空微电子压力传感器阴极发射特性和压力敏感膜形变特性进行了计算机模拟计算：进行了传感器结构设计；实现了压力敏感膜、“台阶阴极”、“阴极—敏感膜复合结构”等的制作工艺；进行了传感器真空封接实验研究。获得了多项价值的研究成果，申请国家发明专利三项，发表相关的研究论文22篇，其中SCI收录2篇，EI收录8篇，ISTP收录1篇，国际会议大会报告2篇，至少有2篇论文已被国外刊物引用。研究工作受到国内同行的重视和广泛好评，在真空微电子传感器研究领域形成较好的影响。