硅基射频微机械集成声路传感器研究

研究硅基氧化锌压电薄膜材料上带有微机械结构和角媒层被测物质沉积区的射频集成声路传感器。具有Y型参考臂和测量臂双输出声路以进行测量信号与标准信号的比较和运算。并有分斩薝型槽隔离结构和聚酰亚胺吸声结构以减少寄生反射波影响。角媒物质吸收被测物质产生质量沉积效应使集成声路本征频率变化来测定其组份。为新型射频集成声路传感器。