微型超声传动器和传感器研究

微电子超声马达和声传感器一直是微电子机械(MEMS)系统中的关键元器件，为此发展了新的分支－微电子机械声学系统(MEMAS)。本项目主要内容包含以下几个方面：1.超声微型马达研究：由于超声马达要求较低的驱动电压，而且可以有多种模式的波型，体积小等，适合于微型机器人的需要。利用有限元方法模拟，求得最佳机电耦合模式，优化设计，应用前景非常广阔。2.声表面波（SAW）传动器研究：为了能与集成电路结合达到全集成效果，利用SAW传动器引起广泛重视与兴趣。改进设计与工艺，研制新型SAW旋转马达，具有尺寸小，稳定性好，且输出功率大的传动器，实现适合特种需要的传动器研制，可望用于全集成器件。3.微型声传感器研究：利用各种模式超声波的传播，可实现灵敏的液体或气体传感器，微型化传感器是MEMS的重要元件之一，结合优质薄膜材料的研究和制作，实现微型传感器的设计与研制，特别适合生物传感作用等，具有重要应用前景。