载流子注入网格型GaAs4*4光开关阵列研究

光开关列阵是集成光学技术研究的热点之一,在MEMS、液晶光开关列阵广受关注的同时，由于全反射型光开关具有体积小、工艺简单、易于集成化等优点同样受到研发单位的重视。本课题按计划要求顺利完成光开关单元及列阵的理论研究、器件设计，并在整体上采用正交输入输出结构，使器件较均匀地分布在晶片上，既避免电流注入引起的器件发热集中，又有利于输入输出波导与光纤的耦合，同时利于列阵的维护与扩充。本项目成果已申请国家发明专利并获初审通过。对单元其间非对称Y分支波导节点设计进行了优化，减少注入区截面积，既提高消光比，又降低注入电流。国内某通讯公司研发部门希望对该项研究进行合作，并转向InP基底，目前正在探讨方案及可行性。