电镀过程的化学噪声与镀层结构和性能的研究

本项目拟采用电化学噪声及电化学阻抗等电化学研究方法，结合扫描电镜、X射线等技术，研究电镀式工艺参数对电镀过程中所产生的电化学噪声特征的影响及晶体遵循三维成核和多层生长机理时的电镀噪声特征。在此基础上，研究镀层性能与电镀噪声特征之间的关系并建立相关模型，开拓电镀层性能的在线无损监检测技术。项目具有重要的学术价值和现实意义。