高密度低温等离子体器壁条件与活性粒子的关系
基本信息
批准号：10275040
项目类别：面上项目
资助金额：36.00
负责人：蒲以康
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：郭志刚,周苗苗,康正德,周欣
关键词：
器壁条件活性粒子低温等离子体
结项摘要
实验研究高密度低温等离子体反应器器壁的温度材料及表面状况对等离子体中的相关活性粒子浓度和空间分布及电子温度、电子密度、电子能量分布的影响。研究结果将为反应器的设计和等离子体参数的调节和控制及等离子体材料处理过程的优化提供重要参考。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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