一种等离子体刻蚀工艺中的终点检测的新概念和技术

等离子刻蚀被广泛应用在半导体器件的生产工艺中，而刻蚀工艺过程中的终点检测被认为是一项关键技术，本项目提出了一种新的用半导体激光二极管的激光诱发荧光技术，用来检测等离子体中相关粒子的浓度变化，而达到终点检测的目的。该技术将有灵敏度高、可靠性好、成本低等优点，将对我国半导体工业中刻蚀工艺的可靠性的提高起到重大作用。