硅微传声器和微气压传感器及其阵列集成芯片系统研究
基本信息
批准号：90607003
项目类别：重大研究计划
资助金额：180.00
负责人：田静
学科分类：
依托单位：中国科学院声学研究所
批准年份：2006
结题年份：2009
起止时间：2007-01-01 - 2009-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：宫俊杰,唐祯安,邹赫麟,徐联,马军,金仁成,杜立群,解述,李剑成
关键词：
微传声器微气压传感器芯片系统
结项摘要
MEMS传感器及其外电路构成的单芯片集成是现今单芯片系统（SOC）研究的热点。微传感器单芯片系统本身就有重大应用价值；如再与后处理电路实现单芯片集成就可形成智能传感器；而阵列则可实现多参量测量，或扩大量程，或空间定位和成像。本项目研究的硅微传声器与微气压传感器SOC是量大、应用面广、意义重大的两种。研究内容是探讨在微尺度下，系统的尺寸效应，动力学过程，等效电路模型，声、热、力与电气参数的相互作用，
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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