多功能微传感器芯片系统集成技术研究

本课题以用于空间气象环境检测的温度、湿度、压力、电场传感器集成微系统为研究目标，研究多传感器集成的相关理论和关键工艺技术，以及三维微结构自组装技术。完成多传感器系统及其与电路集成的原理样机，并进行性能测试。该传感器集成系统不仅具有体积小、重量轻、成本低的优点，并且有利于提高一致性、可靠性和批量生产能力。