适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究

以硅微电容传声器、微加热式传感器和压电微传感器为对象，研究适用于SOC的声-热-力微传感系统的基础，包括在微尺度下，系统参数尺度效应、微动力学模型；声、热、力与电参数的相互作用、耦合和换能；声、热、力参数的测试和控制方法以及微传感器件和阵列中声与振动，声与电，热与流等相互耦合和解耦等，它将为这些微传感系统提供理论基础。