用于集成化芯片系统的压电薄膜微传感器研究

研究适用于集成化系统芯片的压电薄膜微传感器技术，着重探索基于压电效应的新型微传感器原理、结构、关键工艺及其与CMOS电路的兼容性，研制出微传感器样品。它将为集成化系统芯片提供一种新的、兼具传感器与执行器功能的、低工作电压的微传感器结构，为集成化系统芯片技术的发展奠定理论、器件及工艺基础。