III族氮化物肖特基接触和场效应管是适用于高温,高场,微波,高功率应用场合的新型电子器件.本项研究采用灯加热低压金属有机化学气相淀积方法生长III族氮化物半导体材料,优化庋庸ひ?制备高质量的III族氮化物材料,研制III族氮化物肖特基势垒二极管和场效应管,着重研究Pt,Pd两种金属与III族氮化物构成的肖特基结器件.
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数据更新时间:2023-05-31
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