低温等离子体输运过程及其气相沉积的机理研究

本项目用蒙特卡洛等方法主要研究了在电磁场中等离子体鞘层的输运行为包括带电粒子的能量分布，密度分布 ，速率分布等及输运系数值电离系数，扩散系数，激发率，迁移率等。主要发现在放电等离子体中明显存在高能，中能和低能电子流，控制这些电子流的大小与分布可以提高电离率。在阴极鞘层区电离率分布与电子平均能量分布的峰值不同，与传统汤逊理论有所不同。在考虑了边界影响，磁场中的电子非弹性碰撞随磁场增加，与实验符合。对等离子体化学气相沉积提出了二元动力学理论，研究了等离子体输运过程对薄膜沉积率，质量转换率等影响。用PCVD方法制备了薄膜并用各种探针诊断等离子体参量，研究了了等离子体参量对薄膜的影响。实验与理论符合很好。