激光－等离子体辅助化学气相沉积氮化硅膜
基本信息
批准号：59282029
项目类别：专项基金项目
资助金额：5.50
负责人：陆宗仪
学科分类：
依托单位：大连理工大学
批准年份：1992
结题年份：1995
起止时间：1993-01-01 - 1995-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：安世民,李文梅,梅雨,徐军,姚志
关键词：
***
结项摘要
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项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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