低温等离子体中离子输运特性对薄膜生长的影响

设计了离子收集系统，成功测量了在磁镜场中等离子体能量分布、等离子体温度等微观输运特性参数。利用蒙特卡罗方法计算了外磁场对等离子全输运过程的影响，结果表明利用外磁场可大大增加电子和离子的密度等。详细考虑了基底表面吸附粒子与最近邻和次近邻粒子间的相互作用，首次研究了等离子体近表面离子能量对薄膜生长初期形貌的影响，结果表明低能离子照射增加了吸附粒子表面扩散能力，改善了薄膜生长过程；随离子能量升高，薄膜形貌经历了从分形、分枝到紧密生长过程，这与实验结果吻合。由于高能离子溅射作用，薄膜表面成核点增加，促进了表面吸附粒了的凝聚，加快了薄膜生长。课题研究中曾应邀到国际会仪上做学术报告。