电控可调谐PLZT薄膜衍射光栅关键技术的研究

本项目主要是通过对PLZT陶瓷薄膜材料电光效应的特性和机理的研究，根据衍射光栅的基本原理，设计一种基于PLZT薄膜的电控可调谐衍射光栅的新型器件，解决薄膜光栅制备过程中的关键技术，并对器件特性和机理进行测试分析，为发展宽波段、高速响应、低工作电压的电控可调谐衍射光栅提供科学依据和技术基础。主要研究内容包括对PLZT陶瓷薄膜光学相关特性的研究，PLZT薄膜光栅设计及制备工艺的探索，电极结构的设计加工及最终的原型器件测试等。项目旨在跟踪国际新型光电子器件发展技术的前沿，对PLZT陶瓷薄膜器件的设计、集成和制备工艺进行有益探索，为PLZT陶瓷薄膜材料的进一步改善、优化和应用推广提供有益的数据和实验反馈支持，并为其在集成化的高速电光开关、激光腔内的强度调制、稳频和微结构光学等领域的灵活应用提供新型光子元器件和新的单元技术。