集成真空微电子触觉传感器阵列新技术研究

基本信息
批准号:69585008
项目类别:专项基金项目
资助金额:12.00
负责人:温志渝
学科分类:
依托单位:重庆大学
批准年份:1995
结题年份:1998
起止时间:1996-01-01 - 1998-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:林鹏,何清义,罗启泉,胡松,王晓兰
关键词:
微细加工技术触觉传感器真空微电子
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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