生物微传感集成化芯片系统基础研究

本项目进行生物微传感集成化芯片系统基础研究。通过两种典型的电化学生物传感器集成化芯片系统的研制，深入研究生物微传感集成化芯片系统中生物量与电学量之间的转换机制、生物敏感膜与载体界面相互作用的动力学问题、敏感膜固定化的微尺度效应等基础科学问题，探索和解决生物微传感集成化芯片系统的设计、加工、封装、测试以及MEMS与IC在设计、加工和封装层面上的兼容性等共性关键技术，力争在传感机理研究、传感器及其与电路集成设计、敏感材料的选择以及与IC兼容的制备技术、微系统封装技术、多通道微小信号采集、放大、处理技术等关键问题研究方面不断创新，取得1-2项重大突破，研制出电流型微电极生物传感器和电位型场效应生物传感器集成化芯片系统初样，建立与微电子技术相结合的生物微传感系统技术平台。