微型空间电场传感器系统研究

空间电场传感器是发展航天及国防事业所必需的关键器件。本课题采用先进的真空微电子技术和ＭＥＭＳ技术，研制一种全新的微型空间电场传感器，以取代目前普遍使用的双球式空间电场仪，大大降低器件的重量、体积和成本，提高一致性、可靠性和批量生产能力。研究内容包括：微传感器结构研究和设计，制作及封装关键技术，信号检测、传输与处理等。